Описание:
Thermo Scientific™ Quattro СЭМ сочетает в себе отличную производительность как для визуализации, так и для аналитических исследований в сочетании с уникальным режимом естественной среды (ESEM). Это отличное решение для изучения образцов в их естественном состоянии и среде.
SEM Quattro является отличным решением для тех, кто исследует в работе образцы различной природы и происхождения и хочет свести к минимуму время на их подготовку. Quattro отличается универсальностью и дает возможность быстро получать изображения и анализировать даже непроводящие и/или гидратированные образцы.
Нанохарактеризация образцов:
- Металлы и сплавы, трещины, сварные швы, полированные профили, магнитные и сверхпроводящие материалы
- Керамика, композиты, пластмассы
- Пленочное покрытие
- Геологические срезы, минералы
- Мягкие материалы: полимеры, фармацевтические препараты, фильтры, гели, ткани, материалы растительного происхождения
- Частицы, пористые материалы, волокна
Характеризация in situ:
- Кристаллизация / фазовое преобразование
- Окисление, катализ
- Выращивание материалов
- Гидратация/дегидратация/смачивание/угол соприкосновения анализа
- Растяжение/сжатие (при нагреве и охлаждении)
В базовую комплектацию Quattro входит:
- Высокопроизводительный SEM с FEG колонной
- Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7)
- CCD камера
- Мультифункциональный держатель на 18 ( ⌀12) слотов
- Предметный столик 110 × 110 мм, моторизированный по 5 осям
- режим ESEM с вспомогательной газовой системой
Детекторы
- Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума
- Large Field GSED (газовый детектор вторичных электронов для топографического контраста в режиме низкого вакуума
- LVD детектор вторичных электронов для работы в режиме низкого вакуума
Вакуумная система
- Турбомолекулярный насос: 1 × 250 лит./с
- Форвакуумный насос: 1 шт
- Ионно-геттерный насос: 2 шт
Программное обеспечение
- xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс
- Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования
- DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа
- Отображение результатов на экране монитора сразу с 4 детекторов (Single-frame or 4-view image display)
В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:
- оптической камерой Nav-Cam для удобной навигации по образцу
- уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS
- устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектором обратнорассеянных электронов DBS-GADдля режимов низкого вакуума и ESEM
- уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+
- Пельтье столиком WetSTEM™ интегрированным с STEM для изучения тонких и влажных образцов
- детектором катодолюминесценции RGB-CLD
- внитриколонным ICD детектором для использования режима замедления пучка
- специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя)
- системой подачи газа для нанесения пленок/сварки GIS (углерод, платина, вольфрам)
- наноманипуляторами и зондами
- криостоликом Пельтье от -20° C до +60° C
- функцией замедления пучка Beam deceleration в диапазоне от -4000 В до +50 В
- плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner
- модулем криоочистки образца CryoCleaner
- системой для быстрой загрузки Quick Loader
- различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman
- системой рисования электронным лучом Patterning
- амперметром для измерения тока на образце
- акустическим кожухом для вакуумной системы
- полностью безмасляного форвакуумного насоса
- дополнительным компьютером/монитором
- джойстиком
- ручной консолью управления
- системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching
- ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки
- ПО AutoScript4 для написания скриптов и автоматизации работы
- TopoMaps для характеризации изображений и 3D реконструкции поверхности
- ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos
- ПО для удаленного доступа и диагностики системы
- ПО для in situ экспериментов и контроля температурных столиков 1000° C - 1400° C,
- Пельтье столика -20° C - +60° C
Технические харакетристкии:
Камера для образцов
- Размер камеры: 340 мм
- Перемещение столика: 110*110 (x,y)
- Вращение: n*360°
- Наклон: -15°/+90°
- Максимальный размер образца: 122 мм ⌀
- Порты: 12
Рабочее ускоряющее напряжение 200В - 30кВ
Разрешение
- 0,8 нм на 30 кВ (STEM) - HiVac
- 1 нм на 30 кВ (SE) - HiVac
- 2,5 нм на 3 кВ (BSE) - HiVac
- 3 нм на 1 кВ (SE) - HiVac
- 1,3 нм на 30 кВ (SE) -LoVac
- 2,5 нм на 30 кВ (BSE) - LoVac
- 3 нм на 3 кВ (SE) - LoVac
- 1,3 нм на 30 кВ (SE) - ESEM
Уровень вакуума в камере
- (высокий вакуум) < 6 × 10-4 Па
- (низкий вакуум) 10 - 200 Па
- (ESEM) < 10 - 4000 Па