Краткий обзор

• Предельное разрешение РФЭС визуализации: 500 нм / 100 нм (Лаборатория / Синхротрон)
• Удобная навигация образца при помощи фотоэлектронной микроскопии
• Спектроскопия с малым пятном облучения
• Энергетический фильтр с поправкой на аберрацию
• Монохромный рентгеновский источник высокой мощности
• µARUPS с предельным углом охвата
• Создан в сотрудничестве с FOCUS GmbH

NanoESCA предлагает отображение химических состояний с непревзойденным РФЭС латеральным разрешением (< 500 нм в лабораторных условиях). Прибор позволяет анализировать мельчайшие образцы, давая информацию о химическом состоянии за пределами применимости других методов с высоким латеральным разрешением, например, Оже-сканирования и время пролетной МСВИ.