СЗМ для больших образцов происходят от известных микроскопов VT серии и предлагают идеальное решение для больших образцов диаметром вплоть до 4 дюймов.

Ключевые особенности:

• образцы диаметром вплоть до 4 дюймов
• реальная пикоамперная СТМ
• усовершенствованная спектроскопия dI/dV
• классическая АСМ с системой отклонения кантилевера
• АСМ с датчиком QPlus
• опция подсистемы
• совместим с линейкой Fab

Интеграция

Конструкция прибора легко позволяет совмещать его с приборами молекулярно-пучковой эпитаксии и изготовления полупроводниковых пластин. СЗМ для больших образцов размещаются в специально разработанных камерах и имеют внутреннюю пружинную подвеску и вихретоковое демпфирование. Камера может непосредственно устанавливаться на существующую вакуумную систему. 

При работе с некоторыми системами (такими, как системы с большими механическими насосами или криогенными генераторами) возникают критически высокие уровни вибраций. Для таких случаев разработана специальная подсистема с высокопроизводительным механизмом подавления вибраций.