CLM-3D является полноценной автозагрузочной платформой, предназначенной для автоматизированных двухлучевых систем, осуществляющих цифровой трехмерный анализ полупроводниковых приборов в условиях чистой комнаты. Система сочетает в себе электронную колонну нового поколения и ионную колонну с большим током, которые обеспечивают высокую точность для приготовления поперечных срезов для задач метрологии.
Двухлучевая система CLM-3D специально разработана для анализа подповерхностных особенностей полупроводниковых приборов.