Компания FEI представляет самую многофункциональную на настоящий момент двулучевую систему - Versa 3D. Данный микроскоп предлагает выдающееся качество полученных изображений и анализа для получения большего объема трёхмерных данных даже для самых сложных образцов.
Качественный и количественный микрорентгеноспектральный анализ (EDS) в точке, распределение элементов по линии и на площади. Двулучевая система c интегрированными электронным и ионным пучками (FIB/SEM) позволяет: получать высококачественные изображения по композиционному и топографическому контрасту, изготавливать поперечные сечения для исследования подповерхностных слоев, травить и напылять по шаблону.