Компания Rigaku уже более 35 лет занимается опытной работой в области рентгеновской флуоресценции. Спектрометр WaferX 310 разработан с применением самых передовых технологий в области волнодисперсионной рентгеновской флуоресценции, специально для анализа тонких пленок на кремниевых пластинах. WaferX 310 – это метрологический инструмент, способный анализировать образцы на пластинах диаметром 150 мм, 200 мм и 300 мм (новинка).
Волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр WaferX 310 проводит одновременный анализ толщины и состава образца. Идеально подходит для образцов борофосфосиликата (BPSG), PSG и металлических пленок, а так же, тонких пленок BPSG, многослойных пленок, WSix (силицид вольфрама), электродных пленок, тонких ферро-диэлектрических пленок, FRAM, DRAM и SiOF.
Кроме всего выше перечисленного, точность анализа была значительно повышена за счет использования рентгеновской трубки высокой мощности в 4 кВт, что подходит даже для изучения сверх легких элементов, таких как бор (B) и фтор (F), в составе BPSG пленок.
Спектрометр WaferX 310 использует в своей конструкции механизм регулировки высоты подложки и механизм устранения дифракции, что позволяет скомпенсировать разницу в образцах и предотвратить ошибки вызванные дифракцией. Кроме этого, возможна установка стандартного механического интерфейса SMIF (Standard Mechanical InterFace) или FOUP (Front Opening Unified Pod), в соответствии со стандартом “C-to-C”.
Преимущества: