Описание

Компания Rigaku уже более 35 лет занимается опытной работой в области рентгеновской флуоресценции. Спектрометр WDA-3650 разработан с применением самых передовых технологий в области волнодисперсионной рентгеновской флуоресценции, специально для анализа состава и толщины пленок на пластинах и дисках.

Рентгенофлуоресцентный спектрометр WDA-3650 – это универсальный и надежный инструмент для анализа пластин диаметром 200 мм и менее. Включает запатентованную ступенчатую систему анализа “X-Y-θ”, которая улучшает результаты исследований таких сложных образцов, как ферродиэлектричские пленки.

Наличие нескольких каналов позволяет проводить одновременный анализ нескольких элементов, что увеличивает пропускную способность спектрометра. Высокое энергетическое разрешение данной длинноволновой дисперсной рентгеноструктурной системы, по сравнению с энергодисперсионной системой, особенно пригодно для улучшения разрешающей способности спектрометра, в ситуациях, когда пики анализируемых элементов располагаются близко друг к другу.

В спектрометре WDA-3650 доступен «AD-Boron» канал, который обладает, 5-ти кратно улучшенной чувствительностью к бору (В), по сравнению с предыдущими моделями. Встроенные функции автоматической калибровки “AutoCal” и держатель пластин, которые ранее были доступны только моделей, рассчитанные на работу с пластинами 300 мм, позволяют выполнять ежедневную, полностью автоматизированную диагностика и калибровку.

Спектрометр WDA-3650 является максимально компактной системой. Базовый блок требует мене чем 1 м² полезной площади рабочего помещения и не нуждается в дополнительном пространстве для технического обслуживания. По сравнению с предыдущими моделями, энергопотребление снижено на 20 %.

Преимущества:

• Единовременный анализ толщины и состава пленки.
• Применим для всех типов пленок.
• Анализ пластин и дисков диаметром 20 мм и менее.
• Высокая точность анализа, стабильность и аналитическая эффективность.
• Запатентованный механизм устранения дифракции для получения точных результатов рентгенофлуоресцентного анализа.
• Высокочувствительный анализ бора.
• Функция автоматической калибровки с “C-to-C” загрузчиком.
• Безмасляный рентгеновский генератор.
• Сниженное на 23 % энергопотребление, по сравнению с предыдущими моделями.
• Соответствует стандартам безопасности SEMI S2-0310.
• Установка SMIF и “through-the-wall” конфигурации для большей производительности.