Компактность и надежность рентгеновского фотоэлектронного спектромектра AMICUS позволяет использовать его для решения максимально широкого спектра задач – от рутинного анализа и до контроля качества на производстве.
Прибор AMICUS имеет ряд неоспоримых преимуществ:
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с использованием инструмента AMICUS является доступным инструментальным средством для решения широкого спектра задач.
Благодаря высокоэффективному энергетическому анализатору AMICUS можно достичь высокой производительности исследования проб. Повышается также и скорость спектроскопии валентной зоны. В данном примере исследовались образцы углеводородных полимеров: полистирола и полиэтилена. C1s спектры остовных уровней этих образцов практически не отличаются, спектр же валентной зоны является своего рода "отпечатком пальцев", что обусловлено особенностями связывания валентных электронов C2p и C2s уровнях и позволяет успешно идентифицировать данные вещества.
Множество промышленных процессов основываются на поверхностных химических свойствах материалов. Производительность Pd катализаторов, например, напрямую зависит от состояния поверхности. Для данного анализа гранулы Pd отбирались прямо из реактора на разных стадиях рабочего цикла катализатора. Анализ фотоэлектронных спектров выявил постепенное преобладание оксида на поверхности катализатора, т.е. чем больше времени использования, тем меньше активность катализатора. Процесс регенерации позволяет вновь активировать гранулы путем восстановления окисленной поверхности, как показано на образце (Е). Спектрометр AMICUS идеально подходит для таких исследований благодаря возможности полностью автоматизированной съемки.
Совмещая РФЭС метод и ионное травление, спектрометр AMICUS позволяет проводить профильный анализ химических состояний в зависимости от глубины в образце. Здесь представлено два образца кремния, которые были подвержены отжигу в окислительной атмосфере (Sample A - 2 мин, Sample B - 15 мин). Программное обеспечение прибора прибора позволяет выделить компоненту окисленного кремния из Si2p спектра и построить зависимость ее интенсивности от глубины. Можно заметить, что поверхность раздела Si/SiO2расширяется с ~10 нм до ~15 нм при увеличении времени отжига.
Полностью автоматизированная работа с использованием программного обеспечения VISION позволяет с легкостью выполнять многократное профилирование по глубине.
Метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии основан на явлении фотоэффекта, когда под действием рентгеновского излучения электроны эмитируются из вещества. Зная энергию возбуждающего излучения и кинетическую энергия фотоэлектрона из уравнения фотоэффекта, можно определить энергию связи электрона в атоме. Набор данных энергий связи индивидуален для каждого атома, что позволяет проводить качественный анализ. Количество фотоэлектронов данной энергии пропорционален концентрации атома на поверхности, а положение пика энергетической шкале позволяет определить в каком химическом состоянии находятся атомы.
Компактность спектрометра AMICUS обеспечивается благодаря использованию уже зарекомендовавших себя анализаторов типа Dupont. Для определения энергии фотоэлектронов в анализаторе типа Dupont используются фильтры низких и высоких частот. При попадании в анализатор электроны с энергией выше заданной отражаются от фильтра низких частот и далее отсеиваются на фильтре высоких частот. Таким образом, в анализатор попадают электроны только с заданной энергией.
Вакуумная система
Система хранения проб
Система отжига
Источник рентгеновского излучения
Анализатор энергии фотоэлектронов
Система ионного травления
Дополнительные опции: