Установка автоматического измерения дефектности KLA-Tencor Candela 8720 предназначена для контроля производственного процесса с использованием таких материалов как: GaN, сапфир, SiC, Si, GaAs, стекло и кварц, а так же многих других.

Многоканальная система датчиков KLA-Tencor Candela 8720 в непрерывном режиме измеряет рассеяние света в зависимости от угла падения, изменений профиля, коэффициента отражения и фазового сдвига для автоматического определения и классификации критических дефектов. Оборудование обеспечивает высокую чувствительность, значительную пропускную способность контроля и гибкость, что позволяет применять систему как для целей контроля уже налаженного производственного процесса, так и для разработки технологического процесса.

Технические особенности

• Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить скорость и пропускную способность контроля, а так же повысить его надежность;
• Несколько оптических измерительных методик реализуются одновременно в одном сканировании для обеспечения максимальной эффективности автоматического распознавания дефектов и их классификации;
• Повышенная чувствительность к критическим дефектам производства;
• Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов

Характеристики чувствительности к типовым дефектам