Автоматическая установка определения дефектности ICOS® WI-22xx Wafer Inspector предназначена для проведения автоматического оптического контроля микроэлектронных изделий как на уже разрезанных подложках, так и на цельных пластинах. Отличительной особенностью серии ICOS® WI-22xx является высокая скорость проведения обследования, что позволяет значительно повышать производительность производства светодиодов и микроэлектронномеханических систем, а так же возможность применения оборудования на всех стадиях технологического процесса от инспекции исходных пластин до контроля уже нарезанных изделий.

Система WI-22xx комплектуется ручным либо автоматическим устройством загрузки системы и производит обследование любого типа пластин диаметром от 2″ до 8″ без необходимости смены оснастки. Управление системой осуществляется с помощью программного обеспечения IRIS, позволяющего проводить обследование поверхности как в режиме реального времени непосредственно на конвейере, так и  в режиме удаленного доступа, а так же проводить реклассификацию дефектов на любом другом персональном компьютере. Кроме вышеуказанного, для более точной настройки оборудования существует возможность изменения критериев отбраковки пластин, расширенные метрологические возможности.