• Сушка квадратных 10 мм пластин и круглых 1 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
• Низкое потребление углекислого газа.
• Автоматическая обработка до 5 пластин менее чем за час.
• Минимальные требования к подключениям.

• Высокая эффективность внутреннего замкнутого циклаохлаждения  (от 22С до рабочейтемпературы менее чем за 3 минуты)
• Фильтры легко могут быть сняты для простого техническогообслуживания
• Патентованная внутренняя система SOTER™ захватывает и  отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляетпары спирта
• Уникальные вставки вкамеру, оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а такжепозволяет обрабатывать пластины различного размера.
• Обработка до 5 квадратных 10 мм пластин или 5 круглыхпластин диаметра  1 дюйм  одновременно. Держатели компании tousimis®устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах дляжидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства кустройству.
• Автоматическая обработка пластин под контролеминтегрированного микропроцессора
• все внутренние поверхности инертны к углекислому газу иультрачистым спиртам
• Повторяемыепараметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата
• Статистический модуль контроля давления обеспечиваетстабильное безопасное давление
• Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистотууглекислого газа в камере до 0,4 микрон
• LED панель управления
• Дизайн установки подходящий для использования в чистойкомнате
• Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, ULи/или U.S. Military Specifications. 

Спецификация:

• Размеры установки: 14.25" (36.2 см) ширина x 10.25" (26.0 см) глубина x 21,5" (54.6 см) высота
• Занимаемая площадь: 36" (92.0 см) ширина x 30" (76 см) глубина
• Размер камеры: 1.25" x 1.25" / Объем камеры:25 мл
• Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: от 0 до 2,000 psi
• Электричество: 220В / 50 Гц