Описание:

300-мм система оптического контроля и анализа фронтальной и тыльной сторон пластины. Идеальна для контроля литографии и OQA

Основные возможности:

• Новая версия хорошо зарекомендовавшей себя и надежной системы Axiospect 300.
• Доступны конфигурации системы для работы только с фронтальной или с фронтальной/тыльной сторонами.
• Встроенный модуль переворачивания пластин обеспечивает высокую производительность.
• Возможность работы с пластинами в вакуумном захвате или в захвате по бокам.
• Вакуумный держатель для пластин сочетает в себе доступную цену с высокой производительностью и универсальностью.
• Манипуляции с пластинами, в том числе предварительное совмещение, производятся в захвате по бокам, чтобы минимизировать постороннее воздействие на тыльную сторону устройства.
• Функция сортировки с возможностью переворачивания на тыльную сторону.
• Новейший оптический микроскоп фирмы Carl Zeiss поддерживает все стандартные методы контрастирования, в том числе конфокальную и ультрафиолетовую микроскопию.
• Макро-осмотр с равномерным полем освещенности и возможностью осмотра образца в темном поле. Обнаруженные дефекты документируются.
• Доступны различные виды измерений, в том числе контроль отклонения от заданных параметров и измерение толщины пленки
• Единая программная платформа для всех систем и модификаций.