Максимальная нагрузка

45 мН

Минимальная сила контакта

0,5 мкН

Разрешение по нагрузке 

0,0003 мкН

Минимальный уровень шума

0,5 мкН

Разрешение по глубине

0,0003 нм

Уровень собственных шумов  

0,4 нм RMS

Максимальная глубина вдавливания

80 мкм

Динамический режим

Минимальная амплитуда силы

0,025 мкН

Максимальная амплитуда силы

1900 мкН

Диапазон частот

0-300 Гц

Рабочие параметры системы

Размер основания

150 мм х 140 мм

Размер рабочей области 

70 мм х 55 мм

Моторизованное перемещение по Z

>20 мм

Разрешение XY

0,1 мкм

Дрейф

<0,01 нм/сек

Жесткость конструкции

>5х106 Н/м

Держатель образцов

Позволяет одновременно закреплять до 4 образцов

Основание с возможностью вакуумного прижима

Позволяет размещать образцы до 200 мм в диаметре

Микроскоп

Оптические увеличения 5х, 10х и 20х; 
Атомно-силовая головка NanoLens: увеличение 1000х 

Тип индентора

Берковича