Эта недавно разработанная измерительная 3D машина с ЧПУ имеет ультравысокое разрешение для обеспечения прецизионных перемещений, тем самым дает Вам непревзойденную точность измерений в диапазоне нанометра.
ВИМ M-NanoCoord обладает следующими преимуществами:
Главный блок | Конструкция С направляющими в плоскости XY Метод направления Гидростатический пневматический подшипник Шкалы Лазерные шкалы holoscale с малым коэффициентом теплового расширения |
Видеоблок | - Программируемая моторизованная револьверная головка (PPT) - 4-секционная кольцевая подсветка (PRL) - Высокочувствительная цифровая мегапиксельная CCD-камера |
Заводские опции | - Датчики UMAP Переключающий датчик с микрощупом UMAP 101 ø15мкм ; L=0,2 мм UMAP 103 ø30 мкм ; L=2 мм UMAP 107 ø70 мкм ; L=5 мм UMAP 110 ø100 мкм ; L=10 мм UMAP 130 ø300 мкм ; L=16 мм - Датчик LNP "Long-range Nano Probe" Датчик для измерения микроформ |
№ | Разрешение [нм] | Диапазон (оси X-, Y-, Z-) при видеоизмерении | Погрешность (1) |
M-NanoCoord | 1 | 200 x 200 x 100 мм | E1(x,y) = (0,2+0,1L/100) мкм |